FP-260日本理研RIKEN移动式特殊气体检测仪FP260
|
特点： |
|
●工业半导体净化室的理想检测仪器 |
|
●更适于低浓度气体检测（PPM级） |
|
●抗干扰性强 |
|
●盒式带取放简便 |
|
●盒带剩余量显示 |
|
|
|
|
规格： |
|
类 型 |
台式，可搬运型 |
|
检测原理 |
光电光度学原理用于盒式纸带 |
|
检测盒带 |
VHS型可更换盒式带电 |
|
电源和耗电量 |
AC220V 50/60Hz
检测时：35VA 供带时：60VA |
|
尺寸.重量 |
275(W)×220(H)×370(D)mm 约12Kg |
|
|
|
|
|
|
|
检测气体名称 |
|
检测气体 |
TLV值 |
检测范围 |
解析值 |
|
磷 PH4 |
300ppb |
0--900ppb |
5 |
|
四氢化硅 SiH4 |
5ppm |
0--15ppm |
0.25 |
|
乙硼烷 B2H6 |
100ppb |
0--300ppb |
5 |
|
胂 AsH3 |
50ppb |
0--150ppb |
1 |
|
乙硅烷 SiH6 |
5ppm |
0--10ppm |
0.1 |
|
硫化氢 HS2 |
10ppm |
0--100ppm |
1 |
|
光气 COCl2 |
100ppb |
0--300ppb |
2 |
|
氯气 Cl2 |
0.5ppm |
0--100ppb |
1 |
|
硒化氢 H2Se |
50ppb |
0--300ppb |
2 | | |
沪公网安备31011202010858号
累计评价
0